應用

1、在數(shù)控機床檢定中的應用

中圖儀器SJ6000金屬平面激光干涉儀品牌可用于精密機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度的測量，為機床誤差修正提供依據。軟件內置10項常用機床檢驗標準。使用激光干涉儀檢測機床各項誤差并進行修正是傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)的技術，是大幅度提高數(shù)控機床的加工精度的關鍵措施。

2、在三坐標檢測中的應用

SJ6000激光干涉儀搭配其鏡組和輔件可檢測三坐標測量機的位移精度、直線度、垂直度。隨著當代制造業(yè)對加工速度的要求提升，三坐標測量機各結構件由于高速運行產生機構變形，導致的動態(tài)誤差不可忽略。使用激光干涉儀對三坐標測量機進行靜態(tài)誤差、動態(tài)誤差測量和補償，對提升測量精度具有重要意義。

3、在位移傳感器中的應用

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定為發(fā)展趨勢，其特點是反應速度快、測量精度高，是位移傳感器實現(xiàn)高精度校準的重要手段。

4、與其他鏡組配合的應用

SJ6000金屬平面激光干涉儀品牌與不同光學組件結合，可以實現(xiàn)距離、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù)的測量，具有高精度、效率高。

測量方法

1、進行線性測量的一般步驟 ：

 （1）安裝設置激光干涉儀

 （2）將激光束與被測量的軸校準

 （3）啟動測量軟件，并輸入相關參數(shù)（如材料膨脹系數(shù)）。

 （4）在機床上輸入測量程序，啟動干涉儀測量，并記錄數(shù)據。

 （5）用測量軟件分析測量數(shù)據，生產補償文件。

2、光束快速準直步驟 ：

 （1）沿著運動軸將反射鏡與干涉鏡分開。

 （2）移動機床工作臺，當光束離開光靶外圓時停止移動。

垂直光束調整：

 （3）使用激光頭后方的指形輪使兩道光束回到相同的高度。

 （4）使用三腳架中心主軸上的高度調整輪使激光頭上下旋轉，直到兩道光束都擊中光靶中心。

水平光束調整：

 （5）用三腳架左后方的小旋鈕，調整激光頭的角度偏轉，使兩道光束彼此重疊。

 （6）用三腳架左邊中間的大旋鈕，調整激光頭的水平位置，使兩道光束擊中光靶的中心。

 （7）沿著運動軸重新開始移動機床工作臺。在看到光束移開光靶時再次停止。重復步驟3到6，直到完成整個軸向的光鏡準直。

 （8）達到軸的末端時，將機床移回，使反光鏡及線性反射鏡互相靠近。注：若其中一道光束離開光閘的光靶，是由于反光鏡側向偏移所造成。上下左右移動反光鏡，使從反光鏡返回的光束與干涉鏡的光束在光閘的光靶上互相重疊。

 重復步驟1到8，直到兩道光束在整個運動軸長度范圍內都保持在光靶的中心。

 （9）保持光束和測量軸準直。將光閘旋轉到其測量位置。當反光鏡沿著機床的整個運動長度移動時，檢查線性數(shù)據采集軟件中顯示的信號強度。